Διεργασίες Παραγωγής Υλικών (Ανοικτό Μάθημα)

Εισαγωγή στις ιδιαίτερες τεχνολογίες παραγωγής και τις εφαρμογές προηγμένων υλικών στη μορφή λεπτών υμενίων, νανοδομών και νανοσωματιδίων.

Στόχοι Μαθήματος

Ανάπτυξη ικανοτήτων συγκριτικής βιβλιογραφικής διερεύνησης και παρουσίασης ερευνητικών θεμάτων καθώς και στη διατύπωση ερευνητικών προτάσεων.

Προαπαιτούμενες Γνώσεις

Δεν υπάρχουν ειδικά προαπαιτούμενα

Περιεχόμενα

Μέθοδοι εναπόθεσης λεπτών υμενίων. Εισαγωγή στην τεχνολογία του κενού. Φυσικές, φυσικοχημικές και χημικές μέθοδοι εναπόθεσης λεπτών υμενίων και τροποποίησης επιφανειών. Εξάχνωση και επιταξία. PVD και ΜΒΕ. Εισαγωγή στο θερμικό CVD. Αντιδραστήρες θερμών και ψυχρών τοιχωμάτων. Άλλες μέθοδοι CVD. Σύγκριση μεθόδων CVD. Διεργασίες πλάσματος: Εισαγωγή στο πλάσμα. Sputtering, Etching, PE-CVD, Surface Functionalization. Μηχανισμοί και κινητική των διεργασιών πλάσματος. Αντιδραστήρες πλάσματος. Διαγνωστικές μέθοδοι του πλάσματος. Έλεγχος δομής των υλικών στις διεργασίες πλάσματος. Παραδείγματα διεργασιών δημιουργίας νανοδομημένων υλικών και συσκευών: Thin film silicon, Low and High-k dielectrics, Diamond-Like coatings, MEMS και NEMS, superhard coatings, έλεγχος της επιφανειακής ενέργειας και βιοσυμβατότητα, superhydrophobic and superhydrophylic coatings, carbon nanotubes.